數控機床的幾何誤差主要包括螺距/光柵誤差和軸向、軸間誤差，主要的測量方法如下：

1、螺距/光柵誤差

      對于螺距測量，將測量行程平均分為N個點，然后激光干涉儀運動到第n個點，獲得此點的正方向誤差，并在該點多次測量求誤差平均值，形成雙向誤差補償數據。

2、軸向、軸間誤差測量

     右圖是對角線法測量原理圖。

     測量3組對角線，解方程組，可得到所需的補償值：

DEx(x)、DEx(y) 、

DEx(z) 、DEy(y)、DEy(x)、DEy(z)、DEz(z) 、DEz(x) 、DEz(y)。

     利用激光干涉儀測量機床各個軸的21項幾何誤差項，再經過轉換形成單軸誤差補償數據和軸關系誤差補償數據。